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真空镀膜机的一些常见问题与解决办法

发布时间:2019-04-10 浏览次数:载入中... 来源:http://www.e-colab.com/
真空状态是支持真空镀膜机运作的环境,
特别是需要高真空度的设备,
通常我们需要达到高真空度,
抽气系统的作用是功不可没的,
但除了抽气系统外,
在真空镀膜设备运行的过程中,
还有一点就是,
工件的除气。
  
有些工件它本身内部存在着
很多的气体、水分等,
这些物质都会随着设备加热时
被排放到真空室中,
降低了真空度,更甚者,
有些气体带有毒性成分,
直接损害到真空室内部机械结构,
造成设备不能正常运作。
  
另外,正在镀膜过程中,
由于工件内气体加热膨胀,
容易使已经镀上的膜层裂开,
当然这个情况出现的机率
视工件本身物理性质有关,
像塑料等容易膨胀的,
机率就比较高,
像金属等硬质的,
机率就比较低,
但也不能忽视,
因此工件的除气是非常必要的。
  
通常我们使用的工件除气方法是烘烤,
通过加热把工件内的气体、
水分排出,在镀膜前,抽气的同时,
对工件进行加热,
当工件内水分和气体由于加热而放出后,
随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。
  
针对不同的工件采取不一样的除气措施,
有效控制工件内部气体与水分排放,
提高镀膜的稳定性和均匀性。
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